Speciální substráty
Kromě standartních waferů a výbrusů umíme podle přání zákazníka vyrobit i různé jiné speciální substráty. Zde naleznete několik příkladů těchto substrátů. Pokud máte jiný požadavek, neváhejte nás kontaktovat.
1) SC wafery – 4″, 3″, 2″ x 2″
| Parametr, orientace | Hodnota |
|---|---|
| Materiál | Syntetický křemen, Q > 1.8 mil. |
|
Orientace φ
θ
ψ
|
22°45′ (± 5′) 34°05′ (± 5′) 0° (± 5′) |
| Rozměry | 1) 4″ průměr, s ploškou 2) 3″ průměr, s ploškou 3) 50.8 x 50.8 mm |
| Tloušťka | 590 (± 20) [μm] |
| Přední strana | leštěná SAW, RMS < 0.5 nm |
| Zadní strana | leštěná SAW, RMS < 0.5 nm |
2) Pravoúhlé výbrusy / wafery
| Parametr, orientace | Hodnota | |
|---|---|---|
| Materiál | Syntetický křemen, Q > 1.8 mil. |  |
| Úhel řezu | 43.75° (± 10′) | |
| Rozměry | 50.80 x 12.80 (± 0.13) [mm] | |
| Tloušťka | 965 (± 76) [μm] | |
| Přední strana | leštěná SAW, RMS < 0.5 μm | |
| Zadní strana | jemně broušená, Ra ~ 0.2 μm |
3) Prstence
| Parametr, orientace | Hodnota | |
|---|---|---|
| Materiál | Syntetický křemen, Q > 1.8 mil. |  |
| Úhel řezu | X90° (± 1°) | |
| Rozměry ( do / di / tloušťka ) |
1) 20.0 / 11.9 / 1.2 mm 2) 26.6 / 14.3 / 0.8 mm 3) 32.6 / 18.3 / 1.2 mm |
|
| Přední strana | broušená, Ra ~ 1 μm | |
| Zadní strana | broušená, Ra ~ 1 μm |
4) Pravoúhlé výbrusy
| Parametr, orientace | Hodnota | |
|---|---|---|
| Materiál | Syntetický křemen, Q > 1.8 mil. |  |
| Úhel řezu | ZX 0° + 1°50′ (± 15′) | |
| Rozměry | 38.10 x 38.10 (± 0.05) [mm] | |
| Tloušťka | 400 (± 3) [μm] | |
| Přední strana | jemně broušená, Ra ~ 0.2 μm | |
| Zadní strana | jemně broušená, Ra ~ 0.2 μm |
Pozn:
Pro všechny uvedené příklady platí, že se jedná pouze o ukázkové specifikace.
Odchylky od standardních hodnot a další parametry je možno konzultovat.